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本套配置采用石英真空腔體，鍍膜過程全向可視，便于實驗的觀察記錄，腔體設計開啟方便，易于清理，十分適合實驗室使用。同時設備配有旋轉加熱樣品臺，可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質量。整機采用模塊化設計，操作邏輯簡單，操作界面直觀，利于上手。
設備的真空獲得系統(tǒng)采用兩級真空泵組，前級泵為大抽速機械泵，有效縮從常壓至低真空的時間，主泵為渦輪分子泵，抽速高，真空獲取速度更快。 整體真空獲得系統(tǒng)干凈快速。
技術參數：
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項目 |
明細 |
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產品型號 |
CY-MSH270-I-RF-Q |
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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整機功率 |
3KW |
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系統(tǒng)真空 |
≦5×10-4Pa |
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樣品臺 |
尺寸 |
150mm |
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加熱溫度 |
≤500℃ |
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旋轉速度 |
1-20r/min |
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控溫精度 |
±1℃ |
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磁控濺射頭 |
數量 |
2英寸 x1 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
φ270mm X 200mm |
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觀察窗口 |
全向可視 |
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開啟方式 |
頂蓋拆卸式 |
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腔體材料 |
高純石英 |
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真空系統(tǒng) |
機械泵 |
CY240 |
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抽氣接口 |
KF16 |
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抽氣速率 |
1.1L/s |
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分子泵 |
CY600 |
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抽氣接口 |
KF40 |
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抽氣速率 |
600L/s |
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排氣接口 |
KF40 |
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真空測量 |
電阻規(guī)+電離規(guī) |
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供電電源 |
AC;220V 50/60Hz |
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氣體控制 |
1路質量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM |
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膜厚測量 |
可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ? |
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控制系統(tǒng) |
CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng) |
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電源配置 |
直流電源數量 |
1臺 |
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輸出功率 |
≤500W |
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輸出電壓 |
≤600V |
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響應時間 |
＜5ms |
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射頻電源數量 |
1臺 |
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輸出功率 |
≤1000W |
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功率穩(wěn)定度 |
≤5W |
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測量精度 |
±0.5% |
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測量速度 |
100~1000ms |
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測量上限 |
50000 |
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