真空熔煉爐由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT 電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺(tái)、電控系統(tǒng)等組成 ，爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設(shè)備臺(tái)架上，使整個(gè)設(shè)備成為一體,爐架下安裝有水平調(diào)節(jié)輪、不但可以自由的拖動(dòng)，并有調(diào)節(jié)水平的功能。

1、爐體：為全304不銹鋼結(jié)構(gòu)，氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu)，保證爐殼溫度不超過40℃。爐蓋采用前開門結(jié)構(gòu)，爐蓋打開方式為手動(dòng)，并加有鎖緊裝置，爐蓋上設(shè)有觀察孔，方便觀察爐內(nèi)情況。爐體上安裝有進(jìn)出氣口、與水冷機(jī)連接的進(jìn)出水口和安裝有連接爐體內(nèi)澆注裝置的進(jìn)出水管。

2、爐架：由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu)，爐體安置在爐架上。

3、溫控系統(tǒng)(選購測溫元件時(shí))：溫控系統(tǒng)是由測溫系統(tǒng)，溫控儀表組成，爐體上配有紅外測溫儀，把紅外測溫儀輸出的1-5V信號通過控溫儀表轉(zhuǎn)換為溫度信號，控溫儀表可以控制感應(yīng)爐的輸出功率，這樣形成一個(gè)閉合回路，可以對爐子的升溫進(jìn)行編程控制，可以進(jìn)行50段程序控溫，控溫精度準(zhǔn)確，升溫速率可調(diào)，并可以進(jìn)行恒溫，以方便控制澆鑄時(shí)的溫度控制。

應(yīng)用范圍 ：

廣泛應(yīng)用于大專院校及科研單位等在真空或保護(hù)氣氛條件下晶體的生長。

詳細(xì)技術(shù)參數(shù)：

 

F真空感應(yīng)熔煉爐	型號			CYKY-IMC-1
	zui大熔煉重量（按鐵液計(jì)算）			1KG
	zui高加熱溫度			1900度
	高頻加熱電源		采用電源	高頻感應(yīng)電源
			振蕩頻率	30-80KHZ
			zui大輸入功率	25KW
			加熱電流	2-50A
			冷卻水要求	≥0.2MPa ≥6L/分
			電源重量	35KG
			負(fù)載持續(xù)率	100%
			輸入電壓	三相380V   50或60HZ
			加熱方式	感應(yīng)加熱
	腔體真空度（分子泵機(jī)組）			< 8X10 -4Pa
	腔體充氣壓力			< 0.05MPa
	升壓率			<4Pa/小時(shí)
	控制精度			+/-  1~ 5 ℃（600度以上）
真空機(jī)組	機(jī)組輸入電壓			380V /220V
	波紋管			KF40X1000
	真空擋板閥			KF40
	前機(jī)真空泵FX-32			功率	1.2KW
				電壓	380V
				轉(zhuǎn)速	1450rpm
				進(jìn)氣口徑	KF40
				前機(jī)泵抽氣速率（L/S）	8
				極限壓強(qiáng)	4X10 -2Pa
	復(fù)合真空計(jì)			復(fù)合真空計(jì)型號	ZDF
				電源	220V   55W
				控制精度	± 1%
				真空計(jì)測量范圍	10-5 -10 5 Pa
	二級泵 為分子泵 （方案一）	分子泵 （可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa）		分子泵型號	FJ620
				輸入電壓	220V
				分子泵進(jìn)氣口法蘭	DN160
				分子泵抽氣速率L/S（對空氣）	600
				分子泵極限壓強(qiáng)（Pa)	6×10-7
				冷卻方式	水冷
				冷卻水壓（MPa）	0.1-0.2
				冷卻水溫度	<25℃
				環(huán)境溫度	0~40℃
				建議啟動(dòng)壓強(qiáng)	<100Pa
	二級泵為擴(kuò)散泵   （方案二）	擴(kuò)散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa）		電壓	220V
				功率	1000W
				極限真空度（在無泄露時(shí)）	10E-5Pa
				進(jìn)氣接口	DN150
				出氣接口	DN40
				注入油量	0.3L
				抽氣速率（N2）	1000L/S
水冷機(jī)（選購）				型號	HZ-03A
				*大揚(yáng)程	38M
				制冷量	7.224*103kcal/h
				水箱容量	60L
				制冷量	4420Kcal/h
				輸入總功率	3.2KW
				出入水口	Rp1/2’’
				機(jī)器尺寸	520X1150X1145(長X寬X高)