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產(chǎn)品名稱：三源高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號：CY-EVH300-III-HHH-SS
產(chǎn)品廠商：成越科儀
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簡單介紹：

三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀應(yīng)用于金屬和介電膜,薄膜傳感器的制造,光學(xué)元件,納米與微電子,太陽能電池.

詳情介紹：

本設(shè)備為三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀，設(shè)備采用前開門式真空腔體設(shè)計(jì)，腔體空間大，可拓展性強(qiáng)，能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺，可根據(jù)用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉(zhuǎn)、水冷，所有操作均通過觸控屏集成控制。設(shè)備的真空泵組為兩級式真空系統(tǒng)，由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成，可為真空鍍膜試驗(yàn)提供清潔無油的高真空的環(huán)境；真空系統(tǒng)內(nèi)含有完善的氣動閥系統(tǒng)，用戶可通過觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現(xiàn)抽取真空、不停機(jī)取放樣、完全停機(jī)等操作。

詳情介紹：

本設(shè)備的蒸發(fā)源共三組，采取鎢舟蒸發(fā)源，水冷式銅電極，加熱溫度*高可達(dá)1800℃，可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍，三組獨(dú)立熱蒸發(fā)源，不會導(dǎo)致鍍材互相污染。本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì)，腔體和電控部分左右分置，實(shí)現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì)，真空系統(tǒng)、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作，通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過面板獨(dú)立操作，在盡可能方便用戶的同時規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計(jì)完善性能優(yōu)越，是實(shí)驗(yàn)室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗(yàn)的必備之選。

三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀應(yīng)用領(lǐng)域：

金屬和介電膜,薄膜傳感器的制造,光學(xué)元件,納米與微電子,太陽能電池.

真空蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號	CY-EVH300-III-HHH-SS
樣品臺	尺寸	*大支持φ150mm樣品
樣品臺	功能	可旋轉(zhuǎn)，冷卻
蒸發(fā)源	數(shù)量	鎢舟x3
電源	每個蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源；三個蒸發(fā)源共三組獨(dú)立電源
真空腔體	腔體尺寸	φ300x400mm
	觀察窗口	前置φ100mm
	腔體材料	304不銹鋼
	開啟方式	前開門式
膜厚控制（選配）	晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀
真空系統(tǒng)	前級泵	雙極旋片泵
	抽氣接口	KF16
	次級泵	渦輪分子泵
	抽氣接口	ISO160
	真空測量	電阻+電離，復(fù)合真空規(guī)
	排氣速率	機(jī)械泵1.1L/s，分子泵 600L/s
	極限真空	1.0E-5Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	旋片泵：1.1L/S
控制系統(tǒng)	PLC自動控制操作界面：觸控屏+操作面板（觸摸屏可控制沉積過程和快速數(shù)據(jù)輸入；用戶友好 PLC 軟件系統(tǒng)，可以通過網(wǎng)絡(luò)更新）
其他	供電電壓	AC220V,50Hz
	整機(jī)尺寸	1200mm X 900mm X 1650mm
	整機(jī)功率	5kW
	整機(jī)重量	500kg

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