RTP快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120MM，可以直接放下4英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)，也大大降低了間接污染試樣的可能性。

主要功能和特點(diǎn):

1、可視化7寸觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面，操作方便;

2、爐體配備高精度移動(dòng)平臺(tái)，運(yùn)行平穩(wěn)無(wú)抖動(dòng);

3、爐管可自由移動(dòng)，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;當(dāng)爐管移出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇啟動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求;

4、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成，采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，使用壽命可達(dá)5000小時(shí)，升溫速度快，*高溫度可達(dá)1050℃。

5、預(yù)留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;

6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口，可通過(guò)我司專(zhuān)用軟件，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能;

7、設(shè)置超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作可靠。

主要用途和適用范圍:

  用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。

主要技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào)	CY-RTP1000-Φ150-400-T
爐體結(jié)構(gòu)	雙層殼體結(jié)構(gòu)，高精度移動(dòng)平臺(tái)
爐膛材質(zhì)	真空吸附成型的上等高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好
爐管材質(zhì)	高純石英管φ210*650mm，有效試樣空間:8英寸
密封法蘭	不銹鋼快速擠壓密封法蘭
溫控系統(tǒng)	溫度控制系統(tǒng)采用觸摸屏操作，人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)自整定功能，并可編制 8段升降溫程序;控溫精度土1C
顯示模式	液晶觸摸屏顯示
加熱元件	進(jìn)口紅外燈管
測(cè)溫元件	N型熱電偶(可選配內(nèi)置熱電偶，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)加熱物料溫度)
使用溫度	*高溫度1050℃，連續(xù)工作溫度≤1000℃
升溫速度	推薦≤80℃/S,*快升溫速度200℃/S
降溫速度	200℃以上≤25min
恒溫區(qū)	加熱區(qū)長(zhǎng)度200mm
設(shè)備尺寸	650*1200*650mm(深*寬*高)
設(shè)備凈重	185kg
供電電源	AC220V，50/60Hz;額定功率45KW
可選真空	客戶可根據(jù)實(shí)際需要選擇配置低真空系統(tǒng)或者高真空系統(tǒng)
供氣系統(tǒng)	客戶可根據(jù)實(shí)際需要選擇配置多通道浮子流量計(jì)或者質(zhì)量流量計(jì)等混氣供氣系統(tǒng)