人造鉆石是一種由直徑10到30納米的鉆石結(jié)晶聚合而成的多結(jié)晶鉆石，等離子增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積PECVD合成法制造，人造鉆石主要用于制造切割工具等工業(yè)用途上，同樣也被使用在珠寶首飾上。

技術(shù)參數(shù)：

微波源	10 kW SAIREM微波發(fā)生器 2.45GHz磁控管微波頻率 循環(huán)器和隔離器 自動(dòng)操作的EH-tuning元件
等離子源	◆6"等離子源，激發(fā)頻率2.45GHz ◆能夠在低到高功率密度等離子體中工作 ◆獨(dú)特的高功率密度溫度控制能力 ◆氣體從下側(cè)進(jìn)入腔室 ◆偏置電極
基板支架	◆可更換基板支架： ◆冷卻元件（約D75mm） ◆可更換支架板，便于清潔和維護(hù) ◆鉬等離子接觸件 ◆生長(zhǎng)過(guò)程中自動(dòng)調(diào)整高度
小木屋	◆蛤殼式蓋子，便于基板放置和清潔 ◆水冷鋁合金結(jié)構(gòu) 氣體管理系統(tǒng) ◆5條氣體管線(xiàn)，包括5個(gè)質(zhì)量流量控制器（根據(jù)要求添加） ◆MFC系統(tǒng) ◆壓力控制器范圍：100-300mbar
真空	◆渦輪分子泵+干式初級(jí)泵
CVD控制器	◆電腦控制器配方驅(qū)動(dòng)操作 ◆遠(yuǎn)程控制、檢測(cè)、系統(tǒng)升級(jí) ◆基板攝像頭（可選） ◆ 高溫計(jì)范圍：400-1700°C